南京理工大学贵重精密仪器共享系统

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基本信息
FIB/SEM双束系统

仪器名称: FIB/SEM双束系统

仪器编号: 20140879
仪器型号: Zeiss Auriga
购置日期: 2014-03-13
单价(万元): 768.35
厂家: 德国蔡司
技术指标: 1电子束 1.1肖特基场发射灯丝; 1.2分辨率: ≤1.0 nm@15KV ,≤1.9 nm@1kV 1.3 放大倍率:12x ~ 1000kx 1.4加速电压:0.1kV ~ 30 kV 1.5束流强度:最大束流不低于20 nA,连续可调 2 离子束 2.1离子源种类:液态Ga离子源,使用寿命保证不低于1500小时; 2.2分辨率: ≤ 2.5nm@30kV; 2.3 放大倍率:300x ~ 500kx 2.4加速电压:最低加速电压不高于1KV, 最高加速电压不低于30 kV; 2.5束流强度:最小值不高于1pA,最大值不低于50nA; 3 探测器: 3.1样品室内二次电子探测器; 4 辅助功能 4.1气体注入系统 4.2 三维成像系统 4.3 透射电镜取样系统 4.4微纳米加工系统 4.5 3D EDS&EBSD
存放位置:340栋-114
保管单位:材料结构与性能测试中心
管理负责人:李丽
共享: 预约仪器
预约须知: 设备只允许机组人员及具有操作上岗证的人员操作,其他人员预约将被拒绝。
收费参考标准:
仪器介绍:
仪器设备开放时间: 详情请查看仪器预约表